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Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Im Rahmen dieser Arbeit sollen Möglichkeiten zum Messen der Temperaturgenauigkeit und -homogenität der Temperaturverteilung auf Chucks von UF200 Waferprobern mit unterschiedlichen Messmethoden untersucht werden.
Die Aufgabe umfasst die Entwicklung und Charakterisierung unterschiedlicher Messverfahren (Kontaktmessung, berührungslose Temperaturmessung mittels Fern-Infrarot-Thermografie). Hierzu zählt die Analyse von Fehlereinflüssen, Randbedingungen und der erreichbaren Messunsicherheiten der Verfahren sowie deren Umsetzung und messtechnische Bewertung. Außerdem ist eine automatische Test-Ablaufsteuerung zu entwerfen und zu implementieren.

Masterarbeit/Diplomarbeit zum Thema: Kalibration einer Chuck-Temperaturregelung mittels FIR-Pyrometrie

Kennziffer: IMS-2016-30
Ihre Voraussetzungen:
  • Studentin/Student der Elektrotechnik, Informatik oder in einem technisch/ naturwissenschaftlichen Studiengang
  • Wünschenswert sind Kenntnisse und Erfahrungen in der Programmierung unter .NET/C# sowie in der rechnergestützten Messtechnik
  • ausgeprägte Eigeninitiative
  • zuverlässige, eigenständige Arbeitsweise sowie ein hohes Maß an Kommunikations- und Teamfähigkeit


Allgemein:
Die wöchentliche Arbeitszeit beträgt 39 Stunden


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Fragen zu dieser Position beantwortet gerne Frau Anja Schwarzkopf,
Telefon +49 203 3783-2913, E-Mail: personal@ims.fraunhofer.de

Weitere Informationen zum Institut finden Sie unter: www.ims.fraunhofer.de
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme
Duisburg

http://www.ims.fraunhofer.de


Erschienen auf academics.de am 09.07.2013
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